LEYBOLD真空计的分类知识概况
2020-03-13
LEYBOLD真空计的真空技术已经能获得从1000毫巴带10-13毫巴的超真空。为保证稳定、高质量的生产和工艺，必须采用精确的测量和控制仪器来检测与调整所需要的工作压强。
真空计是按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
一、按真空度刻度方法的分类
1.真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关，属于真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。
2.相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管（或规头）和用于控制、指示的测量器组成。读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。
二、按真空计测量原理分类
1.直接测量真空计
这种真空计直接测量单位面积上的力：
（1）静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力；
（2）弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。
2.间接测量真空计
压力为10-1Pa时，作用在1cm2表面上力只有10-5N，显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。
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